潔凈室，又稱潔凈室或潔凈室。潔凈室是指在一定的空間范圍內(nèi)清除空氣中的顆粒、有害空氣、細(xì)菌和其他污染物，以及室內(nèi)溫度、清潔度、室內(nèi)壓力、氣流速度和氣流分布、噪聲振動(dòng)和照明、靜電控制在一定的要求范圍內(nèi)，并給出專門(mén)設(shè)計(jì)的房間。也就是說(shuō)，無(wú)論外部空氣條件如何變化，室內(nèi)都能保持原有的潔凈度、溫濕度和壓力等特性。

潔凈室的主要功能是控制與產(chǎn)品(如硅片等)接觸的空氣的清潔度和溫濕度，使產(chǎn)品能在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造，我們稱之為潔凈室。

潔凈室等級(jí)：世界各國(guó)都有自己定義的規(guī)格，但一般采用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209。美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)FS209D是基于英國(guó)每立方英尺，而日本是公制，即每立方米和0.1μm微粒子。日本標(biāo)準(zhǔn)由1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)8級(jí)代表。日本標(biāo)準(zhǔn)以1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)8級(jí)為代表，如果高等級(jí)為1級(jí)，較低標(biāo)準(zhǔn)為8級(jí)，則可通過(guò)取其指數(shù)來(lái)獲得10在每立方米塵埃顆?？倲?shù)中的功率功率。