由于加工精度越來越精細，凈化車間的具體工藝對溫度波動范圍的要求越來越小；濕度值一般較低，因為出汗后產(chǎn)品會受到污染，特別是在怕鈉的半導體車間，溫度不宜過高超過25℃。

 

高濕度會導致更多問題。當相對濕度大于55%時，冷卻水管壁會發(fā)生冷凝。如果發(fā)生在精密器件或電路中，會引起各種事故。相對濕度為50%時易生銹。另外，當濕度過高時，附著在硅片表面的灰塵會被空氣中的水分子化學吸附，難以去除。相對濕度越高，粘附力越難去除。但是，當相對濕度低于30%時，由于靜電的作用，顆粒很容易吸附在表面上。同時，大量半導體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)，最佳溫度范圍為35-45%。

 

凈化車間壓差控制的基本原理是對送、回、排風進行控制。當凈化車間送風量大于回風和排風量時，室內(nèi)可保持一定的正壓值。此時，在室內(nèi)外靜壓差的作用下，通過圍護結(jié)構(gòu)松動部分的漏風量與進出機械的風量之差相等。

 

凈化車間壓差維護的難點在于機械送風量和出風量是動態(tài)的。對于潔凈空調(diào)系統(tǒng)，過濾器內(nèi)積灰會增加新風和送風管道的阻力，影響風量。排風設備的開啟和停止也會導致排風量的變化；另外，臨近走廊和室外的房間壓差也會受到熱壓和風壓變化的影響。因此，需要經(jīng)常檢查潔凈室的壓差，并相應地調(diào)整新進、回、排氣通道的閥門。