清潔技術，又稱生產環(huán)境和污染控制技術，是近二三十年來發(fā)展起來的一門綜合性的高新技術。清潔技術專門研究和提供清潔的生產工藝環(huán)境和生產過程中使用的各種高純度介質，有效地控制微量雜質，以保證高科技產品的收率和重復性。清潔技術通常包括:空氣凈化技術，空調技術，水凈化技術，氣體凈化技術，微量雜質控制技術，清潔環(huán)境監(jiān)測技術以及相關的環(huán)境質量控制技術。 凈化工程技術已廣泛應用于電子，核，航空航天，生物工程，制藥，精密機械，化工，食品，汽車制造等高新技術產業(yè)和現(xiàn)代科學領域。

 

對半導體設備來說，凈化工程技術在微電子技術中起著非常重要的作用。微電子技術的核心是集成電路，集成電路的生產對工藝環(huán)境和工藝設備提出了嚴格的要求。九五"期間，中國大力發(fā)展以微電子為核心的信息產業(yè)，凈化工程技術水平已成為衡量一個國家和地區(qū)科技水平和工業(yè)水平的重要標志。

 

隨著我國人民生活水平的提高，人們對生活環(huán)境和生活質量提出了越來越高的要求，用凈水設備配制的高純水受到了人們的廣泛歡迎，凈化工程技術開始進入千家萬戶，進入人們的現(xiàn)代生活。

 

與國外先進國家相比，我國清潔技術與設備的差距明顯。1965年開始生產的HEPA過濾器比國外晚15年。1975年開始生產的光散射粉塵計數(shù)器比國外晚20年。0.1微米的清潔技術和設備在世界先進國家已成為成熟的技術，而中國才剛剛起步。

 

為了適應超凈技術的發(fā)展，高效過濾器的研究從未中斷，幾年來一直在開發(fā)不同結構，不同性能的新產品。美國從1979年開始開發(fā)0.1微米ULPA過濾器，1984年AAF開始生產0。無分區(qū)的1微米ULPA濾波器。 目前，0.1微米ULPA濾光片已在美國AAF，佛蘭德斯和劍橋實現(xiàn)商業(yè)化。 日本也成為世界上最大的0.1微米ULPA過濾器制造商，產品種類繁多，特別是開發(fā)低壓損失0。1微米ULPA濾鏡成功解決了初阻高的技術難題。 國際市場對高效空氣濾清器的需求很大，而且每年都在增長。 目前，日本一年銷售100多萬臺，按平均每臺價格2億美元計算，銷售額為2億美元。然而，到目前為止，還沒有0.1微米的ULPA過濾器生產。用于VLSI生產清潔工廠的0.1微米ULPA過濾器以及各種高科技清潔工廠仍然依賴進口。

 

在潔凈室建設規(guī)模和技術水平上，我國與先進國家的差距更大。日本清水建設公司在1982年至1987年建成潔凈室71.8萬平方米，而我國目前一年建成潔凈室不足10萬平方米，但‘八五’期間有了很大發(fā)展。1993年建成的潔凈室總面積接近15萬平方米。 美國潔凈室建設規(guī)模更大，1998年達到188.5萬平方米。 在潔凈工程技術層面，20世紀80年代末，國外大量建成0.1微米級超潔凈室。1987年，日本三洋新瀉工廠建成了3000平方米的10尺寸潔凈廠房，NIT原木則建了4座1000平方米的1000尺寸廠房，控制0.1微米粉塵，換氣次數(shù)高達每分鐘300次。臺積電在臺灣的新工廠建成了總面積達1萬平方米的第四代管道潔凈室。潔凈廠房在大規(guī)模集成電路制造裝備投資中占比較高，不適應集成電路技術不斷更新，產品更新?lián)Q代周期越來越快的發(fā)展趨勢，嚴重制約大規(guī)模集成電路技術的發(fā)展

 

清潔技術和設備的國際市場非常巨大，日本清潔技術和設備的銷售額到80年代末90年代初就超過了35億美元。清潔設備和基礎部件在美國和西歐等先進國家的銷售額已經(jīng)達到7美元。30億。 據(jù)中國電子專用設備行業(yè)協(xié)會統(tǒng)計，1990年我國最大的8家凈化設備廠銷售額為8217萬元，不足1億元，1993年達到14495萬元，占國際市場銷售額的0.34%。而隨著我國高新技術的迅猛發(fā)展，微電子產業(yè)，光纖產業(yè)，液晶顯示產業(yè)，光電子器件產業(yè)，生物工程和醫(yī)藥產業(yè)的發(fā)展，我國潛在的巨大清潔技術產品市場正以每年40%≤50%的增長率遞增。