以芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵車間和圓盤制造車間為代表的電子凈化車間的設(shè)計,不僅嚴格控制顆粒,而且嚴格控制溫度、濕度、照度(甚至光源要求)等,以消除靜電對生產(chǎn)產(chǎn)品的影響,使環(huán)境能夠滿足清潔環(huán)境下電子產(chǎn)品的生產(chǎn)工藝要求。
潔凈室(區(qū))的溫濕度應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)過程的要求來確定,當(dāng)生產(chǎn)過程沒有具體要求時,溫度可采用20℃26℃,相對濕度為30%70%。人員凈化室和家用房間的溫度可達16℃。按照符合國際標準化組織標志的國標GB-50073 1-9級標準,風(fēng)流為單向流動或混合流動,風(fēng)速為0.2~0.45m≤6,無單向流動,通風(fēng)頻率為50~60/h≤7,通風(fēng)次數(shù)為15~25/h,8~9級為非單向流動,通風(fēng)次數(shù)為10~15次/h。
根據(jù)現(xiàn)行規(guī)范,電子制造工廠一萬級潔凈室的噪聲水平(空狀態(tài))不得大于65 dB(A)。
1.垂直流動潔凈室全布比不應(yīng)小于60%,水平單向流動潔凈室不應(yīng)小于40%,否則為局部單向流動。
2、電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10 Pa,不同空氣清潔度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)的靜壓差不應(yīng)小于5 Pa。
3、電子制造業(yè)萬級潔凈室的新風(fēng)量應(yīng)是以下兩項之一。
4.補償室內(nèi)排氣量及維持房間正壓值所需的新風(fēng)量之和。
5.確保潔凈室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣不少于每小時40。