現(xiàn)行國家標準電子工業(yè)清潔廠房設(shè)計規(guī)范"中關(guān)于微振動控制的規(guī)定如下：清潔廠房微振動控制裝置的設(shè)計分階段進行，包括設(shè)計、施工和生產(chǎn)的微振動試驗、廠房結(jié)構(gòu)的微振動控制設(shè)計、動力設(shè)備的隔振設(shè)計和精密儀器的隔振設(shè)計等。

 

在設(shè)計一對具有微振動控制要求的無塵車間時，應(yīng)考慮到一對具有微振動控制要求的無塵車間：

 

1.結(jié)構(gòu)選擇、隔振接頭設(shè)置、面板與地面、屋面的連接應(yīng)根據(jù)微振動控制的要求進行設(shè)計。

 

(2)潔凈室及其周圍輔助站室及其連接管道的振動強的設(shè)備應(yīng)采取主動隔振措施。

 

(3)確定無塵車間內(nèi)外各種振動源對無塵車間精密設(shè)備和精密儀器位置的綜合影響，以確定是否采取被動隔振措施。

 

精密設(shè)備和精密儀器的允許振動值由生產(chǎn)過程和設(shè)備制造部門提供。當生產(chǎn)過程和設(shè)備制造部門難以提供允許振動值時，可參考"隔振設(shè)計規(guī)范"GBJ 22。

 

精密設(shè)備和精密儀器的被動隔振設(shè)計必須符合下列條件：

 

(1)周圍振動源對其綜合影響的振動數(shù)據(jù)。

 

(2)設(shè)備和儀器的型號、規(guī)格和外形尺寸圖。

 

(3)設(shè)備和儀器的質(zhì)量、質(zhì)量中心的位置和質(zhì)量的轉(zhuǎn)動慣量。

 

(4)設(shè)備和儀器底座的外輪廓、附件裝置、管道的位置和坑、槽和孔的大小、地腳螺栓和嵌入件的位置等。

 

(5)設(shè)備和儀器的水準要求。

 

(6)設(shè)備和儀器的允許振動值。

 

(7)選擇或設(shè)計的隔振器或隔振裝置的技術(shù)參數(shù)、形狀尺寸和安裝條件。

 

精密設(shè)備和精密儀器的被動隔振設(shè)計應(yīng)考慮：

 

(1)隔振支座的剛度。

 

(2)在設(shè)備和儀器運行時，隔振平臺傾斜的校正措施是由于質(zhì)量和質(zhì)心位置的變化引起的。

 

(3)隔振系統(tǒng)的阻尼比不應(yīng)小于0.15。

 

(4)隔振措施不應(yīng)影響無塵車間的氣流形態(tài).