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電子廠凈化車間的設計

2020-08-20 11:19:36 瀏覽次數(shù):
不同電子廠凈化車間的清潔度各不相同,如半導體、微電子、光電子技術(shù)、光學儀器、PCB、食品、模具等。根據(jù)行業(yè)標準的要求,凈化水平從10級到30萬級不等。我們必須根據(jù)不同的級別設計相應的解決方案。
 
一、凈化車間的結(jié)構(gòu)材料:
 
1.電子廠凈化車間的墻面和屋頂材料一般采用50 mm厚的夾層彩色鋼板和專用氧化鋁型材進行凈化,門被凈化和關(guān)閉,窗戶用鋁合金玻璃固定。
 
2.地板采用環(huán)氧自流平或高級耐磨塑料清潔.
 
3.凈化通風管采用鍍鋅薄板,保溫采用"PEF"阻燃保溫板。
 
第二,設計、建造和安裝的計劃是什么?
 
1.收集與生產(chǎn)過程有關(guān)的數(shù)據(jù)和數(shù)據(jù),室內(nèi)溫濕度的基數(shù)和準確度需要由工藝設計人員反復確定和確定,不能盲目追求高標準,因為基數(shù)和準確度對投資和運行成本有很大影響,但必須滿足工藝的基本要求。
 
2.在項目現(xiàn)場收集氣象數(shù)據(jù)和周圍環(huán)境信息
 
(1)除了全年的氣象數(shù)據(jù)外,戶外設計參數(shù)還需要收集當?shù)丨h(huán)境,例如影響產(chǎn)品和生產(chǎn)過程的粉塵濃度和各種氣體的濃度。
 
(2)鐵路、碼頭、機場等交通樞紐與工程周圍的主要道路之間的距離。工廠周圍的項目。倉庫。院子,最好遠離這些地方,如果不能離這些地方很遠,就采取適當措施,如:根據(jù)實測數(shù)據(jù)采取新風入口過濾水平,同時也要考慮安裝化學過濾器的必要性。
 
(3)收集關(guān)于將在生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的廢熱和有毒有害廢氣的資料
 
a.確定余熱氣體的溫度和排風量
 
要考慮有毒有害氣體的濃度、溫度、危害程度和廢氣的風量,并考慮對策。
 
(4)收集生產(chǎn)過程中對電力、水、特殊氣體和散裝氣體的要求
 
(5)收集工程建筑物、結(jié)構(gòu)和工藝設計的水平剖面
 
工藝設計、電子廠凈化車間裝修使用范圍廣泛,但一般原則是安裝和維護生產(chǎn)工藝設備、生產(chǎn)工藝、作業(yè)程序、人員流動路線和物料輸送布置,應避免氣流干擾和交叉污染的發(fā)生。
 
(二)在滿足生產(chǎn)工藝、微沖擊控制、噪聲控制等要求的前提下,對空氣潔凈率要求高的電子廠凈化車間的裝飾(面積)應與空調(diào)房間的布置接近,同一空氣潔凈度水平的工序或工作(區(qū)域)應集中布置。
 
運輸、安裝和維修通道或維修門應根據(jù)工藝設計的要求設置。
 
進出電子廠凈化車間裝修人員應設置人員凈化裝置。
 
材料、設備進出電子廠凈化車間裝修,設置凈化設施,設置空氣制動室或傳動窗。
 
f.在潔凈區(qū)域設置真空泵時,應設置除油裝置,將廢氣排放與室外連接,輸送可燃氣體系統(tǒng),當尾氣濃度超過20%時,應使用尾氣處理裝置,去除或稀釋可燃氣體的成分,在輸送易燃自燃化學品或高濃度氧氣時應使用非易燃泵油,并配備氮氣清掃控制閥,并與工藝設備的操作系統(tǒng)相連。
 
3.通用電子廠凈化車間的基本工作原理和凈化參數(shù)
 
凈化原理氣流一次處理空調(diào)空調(diào)送風管道高效風口電子廠凈化車間除塵(細菌)回風通道新鮮空氣和初始空氣處理,重復上述工藝,可達到凈化目的,各技術(shù)參數(shù)的通風次數(shù)分別為10×15/h、15/25/h、50/52/h和0.25~0.35m/s/h。
 
凈化參數(shù)
 
氣體交換次數(shù)為100000≥15倍,10000≥20倍,1000≥30倍。壓差:相鄰房間的主車間≥5 Pa。
 
平均風速:10,100 0.3-0.5m/s
 
冬季氣溫大于16℃,夏季<26℃,夏季±2℃。
 
45×65%GMP粉車間的濕度約為50%,電子車間的濕度略高,以避免靜電。噪聲≤65 dB(A)的補充量;新鮮空氣占總供氣量的10%≤30%,照度300 LX壓差:相鄰房間的主車間為≥5PA。
 
溫度:冬季>16℃±2℃;夏季<26℃±2℃;相對濕度:45≤65%(RH);噪聲≤65 dB(A);新鮮空氣補充:20%≤占總供氣量的30%;照度:≥300 Lux。
 
 
 
 

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